Simultaneous Fabrication of Double-Sided YBa2Cu3O7-δ Films on Y2O3/YSZ/CeO2 Buffers by MOCVD

来源 :2013年全国博士生学术论坛——电子薄膜与集成器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yxzxyzxz
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  We have successfully employed metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) to simultaneously deposit double-sided YBa2Cu3O7-δ (YBCO) films on both sides of Y2O3/YSZ/CeO2 (YYC) buffered biaxially textured Ni-W substrates, which is of great prospects to cut the production cost of YBCO coated conductors.X-ray diffraction (XRD) analysis revealed that the double-sided YBCO films were purely c-axis oriented and highly textured.The ω-scan of (005) YBCO and φ-scan of (103) YBCO yielded full width at half maximum (FWHM) values of 4.9° and 6.6° for one side of the double-sided YBCO films, respectively, as well as 4.4° and 6.4° for the other side.The current transportation measurements performed on such double-sided 500nm-thickness YBCO films showed the self-field critical current density (Jc) at 77K of 0.4MA/cm2 and 1.0MA/cm2, respectively.The work to improve the Jc is in process.
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