【摘 要】
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我们曾经报道一系列具有高酸解活性的酯缩醛聚合物.本文由特殊设计制备的新型具有高酸解活性的酯缩醛聚合物和2,1,4-重氮萘醌磺酸酯感光剂组成一种新型化学增幅型正型i-
【机 构】
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北京师范大学化学学院,北京市海淀区新街口外大街19号,100875
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我们曾经报道一系列具有高酸解活性的酯缩醛聚合物.本文由特殊设计制备的新型具有高酸解活性的酯缩醛聚合物和2,1,4-重氮萘醌磺酸酯感光剂组成一种新型化学增幅型正型i-线光致抗蚀剂.2,1,4-重氮萘醌磺酸基团在i-线(365nm)光照下除了发生常见的重氮基光解产生氮气,还可以产生磺酸导致聚合物中的酸敏缩醛基团发生分解.与传统的酚醛/重氮萘醌磺酸体系抗蚀剂相比,该化学增幅型抗蚀剂具有更加明显的优势,获得了较高的感度和分辨率.
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