(Bi,Eu)4Ti3O12(BEuT)薄膜材料本身具有良好的介电、铁电和光致发光性能,在微电子和光电子学领域有着良好的应用前景。贵金属纳米颗粒的掺杂能改善介质薄膜的性质,一方面,纳米金属颗粒的表面等离子体振荡会使其周围局域场强增强,从而增强稀土薄膜的光致发光性能[1]；另一方面,由于导体-介电体复合材料的渗流效应,金属颗粒在材料中可以形成一系列表面面积大、间距较小的串并联结构微电容,使材料表观介电常数和铁电性大大增加[2],这些性质使得贵金属掺杂钛酸铋铁电薄膜可用于制作多功能集成光电器件。我们采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si以及石英玻璃基片上交替沉积掺Eu钛酸铋膜层和Au膜层,经过适当的热处理,使Au纳米颗粒扩散进入掺Eu钛酸铋层,形成了均匀致密无裂纹的Au纳米复合Eu掺杂钛酸铋薄膜,并研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、光致发光性能、介电性能和铁电性能。结果显示,适量的Au有助于提高薄膜的光致发光性能；同时,薄膜也具有较好的介电和铁电特性。