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UV-LIAG技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔，电子注通道和输出波导等)的方法之一，本文研究了在UV-LIAG技术中，曝光量对SU-8胶模的影响分析原因，得出最佳工艺，并对340GHz的折叠波导进行了初步的实验研究。
UV-LIGA技术加工340GHz行波管折叠波导慢波结构的研究
【摘 要】
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UV-LIAG技术是制作太赫兹真空电子器件(包括谐振腔，电子注通道和输出波导等)的方法之一，本文研究了在UV-LIAG技术中，曝光量对SU-8胶模的影响分析原因，得出最佳工艺，并对340GHz
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室北京100015
【出 处】
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第一届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会
【发表日期】
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2012年9期
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