自支撑CVD多晶金刚石薄膜浸润性质研究

来源 :中国真空学会2016学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenliquanhao
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  本文利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法制备了自支撑金刚石膜,利用高温氧化方法,对金刚石膜进行处理,获得了具有特殊表面结构的金刚石膜,并深入研究了其浸润性,以拓展其新应用。研究表明(100)织构自支撑金刚石膜的生长面(接触角,87°)和成核面(接触角,70°)为亲水性,高温氧化处理后的金刚石膜生长面亲水性略有增大(接触角,78-80°),而成核面表现出超亲水性(接触角,0-18°)。进一步将高温氧化处理的金刚石膜利用氢等离子体处理,成核面的浸润性由超亲水变为高疏水(接触角,97-109°),而生长面的浸润性(接触角,82-87°)未出现显著变化。这一发现表明,在同一金刚石膜上,生长面和成核面可以分别实现特殊的结构特征和不同的物理、化学性质,将有利于扩展微纳米金刚石膜在光电子、化学和生物科技等领域的研究。
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