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1.化学机械抛光(CMP)简介2.CMP铈基抛光粉的制备及表征3.CMP铈基抛光液的组成及表征方法4.CMP铈基抛光粉/液的应用
铈基抛光粉/液的CMP制备及应用
【摘 要】
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1.化学机械抛光(CMP)简介2.CMP铈基抛光粉的制备及表征3.CMP铈基抛光液的组成及表征方法4.CMP铈基抛光粉/液的应用
【机 构】
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北京工业大学材料与制造学部;
【发表日期】
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2004年期
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