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固体表面的润湿性受到表面粗造度和表面微结构的影响。在分析总结几种常用表面微结构加工技术的基础上, 提出使用射流掩膜电解加工方法, 在不锈钢表面加工微坑阵列结构, 研究加工电压对微坑尺寸影响规律和微结构对润湿性的影响。将不锈钢微坑结构作为模具, 用聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane, PDMS)注塑出微凸结构, 用氟硅烷修饰后测量其静态接触角为(151.7±0.51)°。