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石英玻璃在室温下注入能量为56 keV、注量为1×1017cm-2的Ge+离子并退火到900℃。采用X射线光电子能谱（XPS），透射电子显微镜（TEM），吸收光谱和荧光光谱对样品中Ge元素的存在形式及样品的光学性能进行分析表征。结果表明，注入态样品中有Ge纳米晶生成，Ge以Ge、GeO和GeO2形式存在，600℃退火后Ge主要以GeO和GeO2的形式存在。注入态样品在紫外-可见光区有较强吸收，但无明显的吸收峰，600℃退火后，样品在240nm处出现一个紫外吸收峰。退火前样品在紫外光区没有荧光发射，300℃退火后，样品在292和388nm有两个荧光峰；500℃退火后，两个荧光峰强度最大，700℃退火后，两个紫外荧光峰消失．紫外吸收峰和荧光峰都是由GeO心引起的。