【摘 要】
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磷烷在常温常压下为具有大蒜气味的无色剧毒气体，其作为一种重要的电子工业用气体，主要作为半导体器件制造中的重要N型掺杂源。本文采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测
【机 构】
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上海华爱色谱分析技术有限公司,上海200437西南化工研究设计院有限公司,成都610225
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磷烷在常温常压下为具有大蒜气味的无色剧毒气体，其作为一种重要的电子工业用气体，主要作为半导体器件制造中的重要N型掺杂源。本文采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定磷烷(PH3)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对磷烷分析有较好的效果,并验证其测量应用范围.由于磷气体有剧毒，必须对气路管道、色谱柱、检测器以及各种接头进行严格检漏，实验室也要配置报警装置，并做好尾气处理。
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