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在锗衬底上原子层沉积二氧化铪使用三种不同的前躯体
【机 构】
:
南京大学材料科学与工程系
【出 处】
:
2011年复旦大学博士生学术论坛(新材料篇)
【发表日期】
:
2011年期
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