宽光谱穆勒矩阵椭偏仪研制及其在纳米结构测量中的应用

来源 :第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovesyb
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椭偏仪是一种测量偏振光状态改变的重要光学仪器,广泛应用于材料光学常数、薄膜厚度及表面特性表征.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2 个测量条件并且在每一测量条件下只能获得振幅比和相位差2 个测量参数相比,穆勒矩阵椭偏仪(Mueller matrix ellipsometry,MME)可以改变波长、入射角和方位角3 个测量条件,而且在每一测量条件下都可以获得一个4?4 阶穆勒矩阵共16 个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.
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