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该文以纯铁和38CrMoA1为例给出了用电子回旋共振微波等离了体氮化的实验结果,结果指出即使在10<-1>Pa的工作气压下,采用N<,2>-H<,2>混合气体,仍然可在样品表面形成氮化层,使样品表面硬度显著提高,而且氮化速率要比以往报道的好的多。同时还给出改变N<,2>和H<,2>比例时对样品表层氮化铁相形成的影响。