采用EELS和TEM对Ni-BaTiO3纳米复合薄膜微观结构的分析

来源 :第十一届全国核靶技术学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hbl20062

【摘要】

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　　本文采用激光分子束外延法(L-MBE)生长Ni-BaTi03复合外延薄膜，并采用能量损失谱(EELS)和透射电子显微像((TEM)对薄膜进行分析。截面TEM样品用聚焦粒子束( FIB)法切割制得

【作者】

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陈士娟吴卫东葛芳芳马拥军王雪敏陈丽英韩尚君张红王红斌唐永建

【机构】

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四川大学原子与分子物理研究所四川成都610065中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900四川大学原子与分子物理研究所四川成都6100

【出处】

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第十一届全国核靶技术学术交流会

【发表日期】

：

2011年7期

【关键词】

：

纳米复合薄膜激光分子束外延法透射电子显微像技术结构分析

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　　本文采用激光分子束外延法(L-MBE)生长Ni-BaTi03复合外延薄膜，并采用能量损失谱(EELS)和透射电子显微像((TEM)对薄膜进行分析。截面TEM样品用聚焦粒子束( FIB)法切割制得。Gatan DigitalMicrograph TM软件分析高分辨透射电子显微像(HRTEM)以及EELS。

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