【摘 要】
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微电子机械系统(microelectromechanical system，简称MEMS)，是一项有广泛应用前景的新兴应用基础技术，是面向21世纪的信息技术核心之一。在无线通信领域中，正在进行研究开发的微
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
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微电子机械系统(microelectromechanical system，简称MEMS)，是一项有广泛应用前景的新兴应用基础技术，是面向21世纪的信息技术核心之一。在无线通信领域中，正在进行研究开发的微机械元件有：微机械开关、微机械传输线、微机械谐振器（包括射频、微波、毫米波波段）、微机械高Q电感和可调谐电容、微机械天线。该文对微波毫米波MEMS技术在该领域中的最新进展作了评述。
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