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为了满足市场对Φ４英寸单晶的需求，我们针对ＦＺ１４－１型区熔单晶炉在Φ４英寸单晶生长过程中常出现的问题，经过分析进行了改进，基本消除了在拉制Φ４英寸单晶时常出现的如线圈紧固螺钉变色或熔断、高频炉跳闸、线圈打火等异常现肝效地提高了用ＴＯＰＳＯＥ ＦＺ１４－１型区熔炉拉制Φ４英寸单晶的成功率。
FZ14-1型区熔单晶炉的改进
【摘 要】
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为了满足市场对Φ４英寸单晶的需求，我们针对ＦＺ１４－１型区熔单晶炉在Φ４英寸单晶生长过程中常出现的问题，经过分析进行了改进，基本消除了在拉制Φ４英寸单晶时常出现的如线圈紧固螺钉变色或熔
【机 构】
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有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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