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系统级建模与仿真是MEMS设计的独特要求,具有重要的理论意义和实际应用前景.文章介绍了MEMS系统级建模与仿真的几种方法和最新研究进展;指出了各种方法存在的问题,提出可能解决问题的途径.
MEMS系统级建模与仿真的研究进展
【摘 要】
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系统级建模与仿真是MEMS设计的独特要求,具有重要的理论意义和实际应用前景.文章介绍了MEMS系统级建模与仿真的几种方法和最新研究进展;指出了各种方法存在的问题,提出可能解决问题的途径.
【机 构】
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厦门大学机电工程系(厦门)
【出 处】
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2002年中国机械工程学会年会
【发表日期】
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2002年3期
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