论文部分内容阅读
通过改进操作步骤，控制检测环境温度，在加入样品或标液之前和之后将进样瓶冷却3min以上，降低样品温度，甲基二氯硅烷与内标物1，2-二氯乙烷的相对灵敏系数相对标准偏差为3.56％,提高了相对校正因子精度，减少了测量误差。在测定样品时甲基二氯硅烷含量0.7ug/g-9700ug/g范围时，结果的相对标准偏差为1.59%~5.81%，采用本文所述方法，分析结果稳定，重复性高。此方法还适用于氯硅烷中其他甲基氯硅烷含量的测定。通过准确测定氯硅烷中甲基二氯硅烷含量，指导工艺生产，使得硅料能达到一个很高的品质，为下游企业提供高纯度的硅料。