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高温CVD相关论文
高温化学气相沉积法制备致密碳化钽涂层
采用高温化学气相沉积法(CVD)在高纯高密石墨基片的表面沉积了碳化钽(TaC)涂层。通过研究气化温度、气体流量及沉积温度对TaC涂层......
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高温CVD
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