金属绝缘体金属电容相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

金属绝缘体金属电容相关论文

基于RFID芯片应用的0.13μm高密度MIM电容制造工艺研究

RFID（射频识别）芯片伴随着半导体技术的发展得到了广阔的应用,但是RFID芯片向深亚微米发展使其关键部件MIM电容的制造工艺成为难点,......

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射频识别金属绝缘体金属电容高介电常数绝缘介质电容电压系数电容温度系数原子层沉积

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