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金属—绝缘体—金属相关论文
五氧化二钽薄膜的I—V特性
采用直流脉冲反应磁控溅射方法制备了高介电常数五氧化二钽(Ta2O5)薄膜.利用Ta/Ta2O5/Ta的MIM电容结构分析了Ta2O5的电学性能,研究了上......
期刊
无机非金属材料
氧化钽薄膜
磁控溅射
金属—绝缘体—金属
I—V特性
inorganic non-metallic materials
tantalum ox
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