透表法相关论文
应用透表法研究硅化钯-P型硅肖特基势垒二极管(SBD)比应用EBIC法研究它的p-n结特性,尤其结深时更有明显优势:样品不需要特殊制作;......
提出一种新的在扫描电子显微镜中非接触无损透过半导体和集成电路表面绝缘层显微内窥透视检测掩盖在其绝缘层下面的半导体的缺陷和......
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该文对透表面电子束激励电势检测仪(简称透表仪)做了测试分析,从而利用透表面电子束激励电势法到扫描电子显微镜中观测研究覆盖在......