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过渡金属氧化物包覆氧化铝相关论文
无水条件下NF3在MnOx/Al2O3上的分解反应
NF3 是近年来用于电子工业的一种新型蚀刻气,其温室效应潜值达17200,存留时间约740年,将该过程产生的NF3 废气先分解再排放是一项......
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