辅助增强磁控溅射相关硕士博士期刊学术论文

通过采用辅助增强磁控溅射方法，研究了在硬质合金刀片上制备TiN—TiN／CrN—CrN薄膜的工艺方法。利用SEM、XRD等方法分析了Cr靶溅射电......