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阐述了一种在掺锆杂化薄膜上获得分布反馈结构的软刻蚀制备方法,该薄膜采用可紫外光交联的溶胶凝胶(sol-gel)法制得。采用全息双光......
制备具有微图形的材料基底来控制细胞的行为已经成为了生物医学工程领域的研究热点。多种细胞可以响应微米尺度,甚至于纳米尺度的......
随着MEMS(微机电系统)工艺的发展,微流体系统已经成为一个非常热门的研究领域,而无阀微泵作为微流体系统的核心动力元件也得到了越来越......
微流控芯片分析作为微全分析系统领域中的一项重要内容,现已逐渐发展成为当今科学研究领域的热点之一。微流控芯片分析的目标是在一......
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使用通用电子束曝光机,采用一种新的电子束微三维加工的重复增量扫描方式进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的微三维结构,以此为制......