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分子束外延材料表面椭圆缺陷的研究进展
综述了分子束外延材料的表面缺陷-主要是椭圆缺陷-的种类、特征、起因、消除方法等,重点介绍了可能导致椭圆缺陷产生的重要因素,如Ga小液......
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分子束外延
椭圆缺陷
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衬底沾污
镓
半导体
MBE oval defects Ga droplets Ga oxide substrate contani
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