本文研究了Makrofol KG膜的总体蚀刻特性。研究结果表明,体蚀刻速度与蚀刻温度遵守Arr-henius方程V_b=a·e~(-E/KT),其中,体激活能......

采用喷淋蚀刻工艺对738模具钢进行微细蚀刻加工,研究了蚀刻加工中掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量的影响。通过单因素方差分析对因素水......