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纳米结构化刀具相关论文
基于分子动力学的单晶硅超精密加工机理研究
单晶硅具有高强度、耐腐蚀、抗氧化、耐高温、耐磨损等独特的力学和物理性能,在不同领域的集成应用中起着重要的作用,例如半导体器......
学位
单晶硅
超精密加工
分子动力学
相变
亚表面损伤
刀具几何形状
激光辅助加工
纳米结构化刀具
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