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纳米Ti—SiC—C—N膜相关论文
等离子增强磁控溅射Ti-Si—C-N基纳米复合膜层耐冲蚀性能研究
介绍了等离子增强磁控溅射(PEMS)技术,系统研究了其制备的Ti—Si—C—N纳米复合膜层。首先讨论该技术工作原理,并描述了膜层的制备工艺......
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等离子增强磁控溅射
纳米Ti—SiC—C—N膜
抗冲蚀
plasma enhanced magnetron sputtering
nanocomposite
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