精密伺服相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

精密伺服相关论文

线振动台的控制算法研究

为了提高惯性仪表的测量精度,就要研发高精度的惯性器件测试设备,来提高惯性仪表的测试水平和精度。线振动台作为能够产生高加速度......

学位

线振动台精密伺服零相位误差跟踪控制器扰动观测器

光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制

提出一种将完全跟踪控制（PTC）和扩张状态观测器（ESO）相结合的复合控制方法以提高宏动直线电机的跟踪性能。利用多速率采样系统的特性构......

期刊

完全跟踪控制扩张状态观测器精密伺服光刻机工件台

看过本文同时还关注