采用等离子体增强原子层沉积技术在硅(100)衬底上制备了多晶AlN 薄膜,三甲基铝(TMA)和Ar/N2/H2(1：3：6)等离子体分别为Al 源和N 源的......

采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术, 以NH3为掺杂源, 制备了氮δ掺杂Cu2O 薄膜, 研究了N掺杂对Cu2O薄膜表面形貌、光学及电学......

中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室在基于低温等离子体增强原子层沉积的紫外减反射激光薄膜研究中取得新进展,初步......

黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能。等离子体......

高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值。本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多......

互联网和物联网的迅猛发展,以及衍生出来的人工智能、大数据、云计算等正在深刻而迅猛地改变着人类社会生活的方方面面。与此相关,......

近年来,铁基及其化合物以其独特的物理与化学性质引起了人们的广泛关注。例如,在能源转换过程中表现出良好的性能,如氧还原反应、......

介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果.PEALD系统主要由远程脉......

主要介绍了原子层沉积技术的历史背景、原理(包括两种自限制的反应机制、前驱体的要求与分类)以及原子层沉积本身作为一种涂层制备......

原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等......

采用等离子体增强型原子层沉积（PEALD）系统原位掺杂制备了TiO2-xNx光催化剂。利用光电子能谱（XPS）、高分辨率透射电镜（HRTEM）、光致发光（P......

利用等离子体增强原子层沉积系统,使用氮等离子体对Te掺杂GaSb的表面进行刻蚀,改善样品的发光特性.在室温下（300K）,发光强度提高了4......

黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能。等离子体......

随着工业化的快速发展,人类社会正面临着日益严峻的环境污染问题,如何利用取之不尽、用之不竭的太阳光,发展环境友好的光催化剂成......