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测试真空中薄膜阵面自振特性的等代方法
大气环境下,空气产生的附加质量会大大折减薄膜阵面的刚度,致使薄膜阵面的自振特性与在实际真空工作环境中存在较大误差。基于针对......
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薄膜阵面
自振特性
网格膜
等代方法
planar film reflect-arraynatural vibration characteristicsgri
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