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质谱仪器研发周期长、应用成本高，使得数值模拟成为仪器研发、性能优化、实验方案设计的理想选择。目前，离子轨迹模拟软件SIMION、Co......
由于常规等离子体刻蚀系统在晶圆边缘处的阻抗与晶圆中心处的阻抗不一致,使离子在晶圆边缘处的运动轨迹发生偏移,很难满足越来越高......
本文利用 IBM-PC 的屏幕绘图功能绘制了四极滤质器中离子运动轨迹。讨论了仪器工作参数及边缘场电长度对仪器性能的影响。......
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