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真空蒸发镀膜技术已经应用了很多年,随着激光技术的发展,人们对激光薄膜尤其是高功率激光薄膜的质量要求越来越高,离子辅助沉积薄......
<正> 一、引言 射频离子源素有结构简单。维护运行方便,质子比高等优点;并且造价低,在大规模工业应用上与其他源型相比,具有优越的......