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磷掺杂纳米硅薄膜相关论文
磷掺杂纳米硅薄膜压阻式压力传感器芯片研究
自20世纪50年代,半导体硅的压阻特性被发现以来,硅基压力传感器就被广泛研究,而压阻式硅压力传感器更是很早就被商品化并大量使用......
学位
压阻式压力传感器
磷掺杂纳米硅薄膜
压阻效应
双岛结构
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