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碳—氢—氯体系金刚石薄膜生长条件预测
首次计算了一碳-氢-氯体系中生长金刚石膜的相图,研究了该体系中金刚石生长区随衬底温度及氯含量变化的趋势,与实验结果符合较好,计算结......
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