硅微加工工艺相关论文
硅微传声器是声学微机电系统(Acoustic MEMS)的重要组成部分，主要分为电容式微传声器和压电式微传声器，目前，电容式微传声器已经走向......
表面等离子体共振是金属表面自由电子和光子相互作用而形成的一种特殊光学现象。通过调整金属纳米结构的尺寸、形状和组装方式等,......
该文论述的主要内容是微药物控释系统中微型泵的设计、仿真分析、加工和性能测试工作. 该文首先结合作者对MEMS的认识和一年多的超......
PVDF聚合物热释电薄膜是一种新的激光与红外辐射探测器材料,它比无机薄膜更易于与硅微加工工艺为基础的硅读出电路兼容.本文用旋涂......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
提出了一种新型结构的硅微热致动泵，对该泵相关的微机械关键加工工艺进行了综述分析和试验研究。......
针对常压和真空两种环境．通过三维有限元模拟分析了背面体硅加工型、正面体硅加工型和表面加工型三种微热板(MHP)的传热主渠道和加......
本文提出了一种新结构的微热致动泵，着重对其关键工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。......
在生物医学和临床诊断中,DNA提取是关键的步骤。随着生物分析仪器的小型化和芯片化，有必要制作DNA提取芯片。固相提取法（Solid-Phase......
采用标准MEMS工艺,设计并制造了一种Pt薄膜热式微流量传感器,并且以水和甲醇为工质,对该热式微流量传感器的工作特性进行了实验研......
本文提出了一种新结构的硅微热致动泵，着重对其关键加工工艺进行了综述分析和实验研究，可为国内相关领域的研究提供一定的参考。
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