直写刻蚀加工相关论文
采用Agent技术,开展了针对以准分子激光直写刻蚀加工为主要加工手段,以微集成机构为产品对象的桌面式微型工厂建模研究.提出了桌面......
本文以准分子激光直写刻蚀加工为主要加工手段,开展卓面式微型工厂的加工过程仿真研究,为建立一个桌面式微型工厂提供有效的技术手......
针对微机械三维结构对准分子激光直写微细加工的要求，在试验研究基础上，讨论了硅已加工表面形貌、加工热与热影响区等特性，得出了加工......
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