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电磁激励和检测相关论文

扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除

为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺，提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器，并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验......

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扩散硅谐振式微机械压力传感器同频干扰非对称激励电磁激励和检测 diffused silicon micro-machined resonant pre

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