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电场微传感器相关论文
SOI微型电场传感器的设计与测试
该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比,......
期刊
电场微传感器
微机电系统(MEMS)
绝缘体上硅(SOI)
分辨率
Electric field microsensor Micro-Electro-Mecha
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