环形电镀金刚石线锯相关论文
本文利用环形电镀金刚石线锯对硬脆材料单晶硅、LT55陶瓷进行了切割试验,研究了锯切力、材料加工表面质量及锯丝的磨损。研究发现,......
随着半导体工业的飞速发展，单晶硅、超硬材料碳化硅晶体等在此领域得到广泛应用。且为了降低单元制造成本，要求芯片的直径不断增大。......
