照明均匀性相关论文
动态星模拟器可用于模拟现实星空场景,是星敏感器的重要测试及标定设备。在半实物仿真试验过程中,星模拟器与星敏感器需要共同安装......
采用理论推导和计算仿真的方法对LED阵列光源的照明均匀性进行了研究。重点分析了LED阵列的空间角度辐射分布和平面照度分布，结合实......
目前3D显示技术成为众多专家学者研究的热点。相比较于头戴式显示技术,裸眼3D显示无需佩戴任何设备即可获得图像深度信息。其中,利......
集成电路是信息化产业的核心，是支撑全球经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。虽然我国集成电路产业发展的黄......
近年来，电子信息类产品在不断地追求着高性能化，印刷电路板也随之高密度、微线化。紫外线曝光机是印制板制造工艺中的重要设备，而光学......
日本MARUWASHOMEI公司出售白光LED照明灯，此灯中安装了该公司独自开发的散光透镜，改善了照明均匀性。灯用在道路照明，按一天照明12h算......
在海面波浪坡度场光学测量系统中,光源是一个非常重要的照明元件。合理的设计和选用光源,是保证系统精度和布局的重要因素之一。比......
主要对０．５μｍ分步光刻机的几个代表性参数即：投影镜头分辨率、照明均匀性，套刻精度，工作台步进精度，镜头畸变等引起误差的原因，测量和计算方......
提出采用直锥形光纤作为大气激光通信的发射天线，将多模光纤输出的部分相干发散光束变换为准平行光束的方案，既能得到发散角很小的部......
近日，一种新型“3米长光栅复制光刻机”在中科院光电技术所研制成功。这是该所继成功研发URE-2000系列大面积曝光机后创新研发的一......
研究了激光相干性对照明均匀性的影响,为照明激光器的选择提供了理论参考.其中,部分相干高斯光束分解为模式间相互独立的厄米-高斯......
克服大气湍流对近地大气光通信质量影响,可归结为在接收端的照明均匀化,而采用部分相干光照明则是提高照明均匀性的一种有效途径.......
照明光路是决定投影仪光学引擎的光能利用率和光学体积的主要因素。传统照明光路针对朗伯光源进行收集与分配,无法从根本上消除系......
本文针对带钢表面划痕缺陷,以常见的面阵LED作为光源搭建低角度、暗域照明系统,同时基于照明系统推导出在一定照明区域中光照度函......
由于LED发射光强的逐渐提高,许多照明系统使用单颗LED作为光源就可以满足不同场合的需求。通过对LED的发光特性的分析,提出了一种......
从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝......
提出利用光束整形技术提高激光照明均匀性、调节照明远场光斑尺寸的方法,用Easylaser激光仿真软件分析光束截断比对照明均匀性的影......
近红外激光照明是在低照度情况下,用近红外激光作为光源对远距离目标进行主动照明.由于激光的产生机制、匀光装置和照明器采用的光......
均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得......
对激光束空间相干性对照明均匀性的影响进行了实验研究。实验结果表明 ,激光束的空间相干性与照明均匀性具有密切的关系 ,当激光束......
在曝光线宽为90nm节点的投影光刻机照明系统中,针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题,用高斯光束边缘叠加能够提高均......
针对目前光电检测样品中弧面、柱面、球面等金属零件检测的照明方案存在的样品反光强,容易产生眩光,难以满足样品表面照明均匀的缺......
随着大功率LED发射光强的不断提高,采用单粒LED为光源的照明系统已能满足许多场合的照明需求。根据非成像反射器的设计方法,研究了......
LED作为一种新型的固态冷光源，具有体积小，寿命长，发光效率高，节能环保等优点。LED广阔的市场前景引发了对于LED应用的研究高潮，特别是......
以作者多年的工作体会为基础熏结合几种照明曝光系统的情况熏介绍了提高光刻机的照明均匀性和单位面积能量的一些具体措施。并以光......
基于几何光学与辐辐射照度理论,对满足均匀近场照明的半导体发光二极管(LED)二次曲线阵列进行分析,推导了光源照射到屏上的总辐射......
