激光直写设备相关论文
本文从理论计算和光线追迹法对激光直写光刻工艺中离焦对线条影响进行了分析研究;使用激光直写设备开展了离焦写入工艺实验,得以写......
为适应直接光刻法高效制作不同线宽的需要,提出了一种基于二象限探测器的新的调焦方案用于极坐标激光直接写入设备,这种调焦方案适......
对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介绍,并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素.提......
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统，分析了主轴 伺服系统 的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设......
极坐标激光直写法是制作二元光学器件较有前途的方法，它对直写设备中的转台测控系统提出了许多特殊要求。本文介绍了一种满足这些要......
本文介绍了二元光学元件制作的基本情况，国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光......
精密调焦伺服控制属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理，分析了调焦伺服实现的方法，重点分......
分析了激光写入与加工设备的特点。指出了这类设备工作效率低下的主要原因是要求刻划或加工的图形变换的频率高，而这类设备的加工元......
激光直写是衍射光学元件的一种先进制作技术，激光直写设备是采用激光直写技术制作衍射光学元件并开展其研究的物质基础。本文基于中......
