湿法腐蚀工艺相关论文
湿法腐蚀工艺是制作衍射微光学元件的一个重要方法。该方法基于硅的特定晶向特性,利用微电子加工工艺在硅基片表面制作多种复杂的......
论文研究了基于动力学蒙特卡罗法建立单晶硅湿法腐蚀精确仿真计算模型的关键技术，依据己发表文献中和已有的实验数据，利用蒙特卡罗计......
为了提高GaAs微型太阳电池的输出性能,对微型太阳电池阵列的主要工艺进行了研究和改进.通过对帽层、背电极层和台面的选择性/非选......
