混合曝光技术相关论文
扫描探针显微镜是人类探索与改造微观世界的重要工具之一。基于扫描探针显微镜的微细加工技术利用探针与样品之间的相互作用，对样品......
Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光，在50kV加速电压下，其曝光剂量为50-100μC/cm^2，曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟......
