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等离子体基离子注入的数值模拟及保形性离子注入研究
该文针对等离子体基离子注入(PBⅡ)过程,建立了模型,模拟了鞘层扩展的动力学行为以及注入元素在改性层中的分布;通过单因素试验,研......
学位
等离子体基离子注入
俄歇电子能谱分析
浓度深度分布曲线
等离子体鞘层
PBⅡ模型
等离子体基离子注入表面改性层的数值模拟研究
本文针对等离子体基离子注入(Plasma Based Ion Implantation-PBII)过程,建立了鞘层扩展的等离子体粒子模型,模拟了在脉冲偏压作用下......
学位
等离子体基离子注入
浓度深度分布曲线
等离子体鞘层
注入剂量
改性层
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