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波面剪切相关论文
基于波面剪切干涉原理测量微细台阶高度
提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法.通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜,实现了对光束的微分剪切......
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波面剪切
台阶高度
偏振干涉
波面剪切
分光棱镜
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