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超低电容TVS二极管的沟槽工艺
硅沟槽应用于超低电容TVS二极管的结构中,可对多晶硅进行填充以达到介质隔离目的,同时也借助沟槽改造雪崩二极管,由平面向纵向转变,进......
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超低电容
TVS二极管
沟槽工艺
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