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汽相掺杂相关论文
硅单晶汽相掺杂技术的研究
区熔(FZ)硅单晶是制作电力电子器件的主要原材料,产量大约占整个硅片市场6%~8%。高质量的电力电子器件的发展对区熔硅单晶的高完整......
学位
区熔硅单晶
汽相掺杂
电阻率均匀性
电力电子器件
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