椭偏测厚仪相关论文
介绍利用椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法。采用数字迭代计算方法 ,由测量得到的起偏角和检偏角可直接算出所测薄膜的折......
分析了高校椭偏测厚实验中存在的问题,成功研制出具有教学特点的多功能智能椭偏测厚仪和编制了一套该实验的CAI课件.实践表明:椭偏......
本文详尽介绍了椭偏术测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法,采用一种数字迭代计算方法,由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出所测......
用椭偏测厚仪可以测量薄膜一个周期内的厚度和折射率.本文从理论上分析了采用变入射角确定薄膜的真实厚度时,存在最大可测厚度周期......
采用椭偏测厚仪测量薄膜的折射率，用来修正紫外可见吸收光谱仪极值法测量膜厚的数据。通过制备掺铝氧化锌（ZAO）薄膜及SEM断口观察进行......
