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无旋涡缺陷相关论文
Φ6″区熔硅单晶的生长
本文主要介绍了Φ6″区熔硅单晶无位错、无旋涡缺陷的生长工艺及热系统的设计,并对大直径区熔单晶生长过程的几个关键性问题进行了......
会议
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单晶生长
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大直径
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